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国产高精度源表S3012H助力半导体行业测试
国产高精度源表S3012H助力半导体行业测试


台式源表S3012H经济高效单通道高精度源表，标准半机架宽度，丰富的液晶屏操作界面，成为各种高精度高分辨率测试任务的理想选择。

S3012H高精度源表特点：

高量程-量程：±200 V、±3 A（直流）、±10A（脉冲）

高分辨率-*小测量分辨率可达100fA/100nV

高采样率-*高可支持1M的ADC采样率

硬件同步-单机多机同步，纯硬件高速同步，可现实多通道低时延同步
S3012H高精度源表功能与优势：


5功能于一身：电压源电流源电流表电压表电子负载

、

三象限为源：输出V/I的实际极性跟随源设定；四象限为负载：CC和CV配合，当负载用时，负载设定极性与源极性相反；

可测试各种设备


捕获更多的测量数据

♦ 6 位半的数字分辨率: 精度相当于6 位半数字万用表；
♦ 100 fA / 100 nV分辨率: 设置与测量 优良的灵敏度；
♦ 1M点/秒: 提供高速测量，可以快速设置/数字化率于任意波形发生器/列表扫描；


丰富的扫描功能


S3012H高精度源表产品指标：

工作条件
温度 23 °C ± 5 °C，
湿度 30% 至 70% 相对湿度
预热 60 分钟后测量，测量时环境温度变化小于± 3 °C
校准周期 1 年
测量速度 1PLC

电压源指标

电压设置精度 量程 设置分辨率 精度(1 年)±(%读数+ 偏置) 典型噪声(有效值)0.1 Hz-10Hz
±200 V 1mV 0.02%+40 mV 600 μV
±20 V 100 μV 0.02%+5 mV 100 μV
±6 V 10 μV 0.02%+500 μV 4 μV
±200 mV 1 uV 0.02%+200 μV 2 μV
温度系数 ±(0.15 × 精度指标)/°C (0℃-18℃,28℃-50℃)
单通道*大输出功率 30W: ±20V@1.5A;30W: ±200 V@0.15A;18W: ±6 V@3A
设置时间 <800uS (典型值)
过冲 <±0.1% (典型值，Normal,步进是范围的 10% 至 90%，满量程点，电阻性负载测试)
噪声 10Hz-20MHz 6V 电压源，3A 电阻负载，<3mV RMS


电流源指标

电流设置精度 量程 设置分辨率 精度(1 年)±(% 读数+偏置) 典型噪声(有效值)0.1 Hz-10Hz
±10 A1 50 μA 0.4% + 40 mA NA
±3 A 20 μA 0.05% + 5 mA 10 μA
±1.5A 5 μA 0.02% + 500 μA 3 μA
±150 mA 500 nA 0.02% + 25 μA 800 nA
±15 mA 50 nA 0.02% + 2.5 μA 100 nA
±1.5 mA 5 nA 0.02% + 150 nA 20 nA
±150 μA 500 pA 0.02% + 25 nA 200 pA
±15 μA 50 pA 0.02% + 3 nA 75 pA
±1.5 μA 5 pA 0.03% + 600 pA 50 pA
±150 nA 500 fA 0.05% + 300 pA 10 pA
温度系数 ±(0.15 × 精度指标)/°C (0℃-18℃,28℃-50℃)
单通道*大输出功率 30W: ±20V@1.5A;30W: ±200 V@0.15A;18W: ±6 V@3A
设置时间 <500us (典型值)
过冲 <±0.1% (典型值，Normal,步进是范围的 10% 至 90%，满量程点，电阻性负载测试)

1，10A 量程仅支持脉冲模式,精度为典型值


电压表指标

电压测量精度 量程 显示分辨率 精度(1 年) ±(% 读数+偏置)
±200 V 100 μV 0.02% + 40 mV
±20 V 10 uV 0.02% + 5 mV
±6 V 1 uV 0.02% + 500 uV
±200mV 100 nV 0.02% + 200 μV
温度系数 ±(0.15 × 精度指标)/°C (0℃-18℃,28℃-50℃)


电流表指标

电流测量精度 量程 显示分辨率 精度(1 年) ±(% 读数+偏置)
±10 A1 10 μA 0.4% + 25 mA
±3 A 10 μA 0.05% + 5 mA
±1.5A 1 μA 0.02% + 500 μA
±150 mA 100 nA 0.02% + 25 μA
±15 mA 10 nA 0.02% +2 μA
±1.5 mA 1 nA 0.02% + 150 nA
±150 μA 100 pA 0.02% + 20 nA
±15 μA 10 pA 0.02% +3 nA
±1.5 μA2 1 pA 0.03% + 600 pA
±150 nA2 100fA 0.05% + 300 pA
温度系数 ±(0.15 × 精度指标)/°C (0℃-18℃,28℃-50℃)

1，10A量程仅支持脉冲模式,精度为典型值
2，小电流测量，建议使用三同轴线缆连接Force Hi接芯线，Guard接内屏蔽层，外屏蔽层接保护地，Force Lo接芯线，内屏蔽层不接，外屏
蔽层接保护地，同轴线的额定绝缘电压不小于250V。

电阻表指标（4 线）

电阻测量精度 量程 显示分辨率 默认测量电流 典型精度(1 年)
±(% 读数+偏置)
1 Ω 1 uΩ 1 A 0.09% + 0.5 mΩ
10 Ω 10 uΩ 100 mA 0.065% + 5 mΩ
100 Ω 100 uΩ 10 mA 0.065% + 50 mΩ
1 KΩ 1 mΩ 1 mA 0.055% + 500 mΩ
10 KΩ 10 mΩ 100 uA 0.065% + 5 Ω
100 KΩ 100 mΩ 10 uA 0.07% + 50 Ω
1 MΩ 1 Ω 1 uA 0.05% + 500 Ω
10 MΩ 10 Ω 0.1 uA 0.65% + 5KΩ
100 MΩ 100 Ω 0.05 uA 1.27% + 10 KΩ
温度系数 ±(0.15 × 精度指标)/°C (0℃-18℃,28℃-50℃)
手动电流源电阻测量（四线） 总体误差 = 测量电压/电流源设定电流 = 电阻读数 x (电压源量程的增益误差百分比 + 电流表量程的增益误差百分比 + 电流源量程偏置误差/设定电流) + (电压源量程偏置误差/设定电流值)
示例：电流源设定电流=1A 电压测量量程=6V
总体误差=（0.02%+0.02%+500uA/1A）+(500uV/1A)
=0.09%+0.5mΩ


脉冲源指标（4线）

*小可编程脉宽 100μs
脉宽编程分辨率 1μs
脉宽编程精度 ±10μs
脉宽抖动 2μs
脉冲宽度定义 如下图所示，从 10 % 前沿到 90 % 后沿的时间



脉冲技术指标 *大电流限制 *大脉冲宽度 *大占空比
1 0.15A/200V DC,无限制 100%
2 1.5A/20V DC,无限制 100%
3 3A/6V DC,无限制 100%
4 3A/20V 1mS 10%
5 10A/6V 1mS 10%


脉冲源上升时间（4 线）

输出 量程 典型上升时间 1,3 典型稳定时间 2,3 测试负载
电压源 200 V 600 μS 1.5 mS 空载
20 V 200 μS 360 μS 空载
6 V 160 μS 300 μS 空载
电流源 10 A 140 μS 320 μS 满载
3 A 120 μS 280 μS 满载
1.5 A 120 μS 280 μS 满载
150 mA 120 μS 280 μS 满载
15 mA 120 μS 280 μS 满载
1.5 mA 120 μS 280 μS 满载

1, 脉冲前沿从 10%到 90% 所需的时间。
2，脉冲达到距离*终值 1%的所需的时间。
3, 电流源测试基于 6V 电压量程下测试，105%满量程钳位设定。

I-V 输出能力



输出建立时间

输出 量程 典型输出建立时间 测试条件
Fast1,2 Normal1 Slow1
电压源 200V <1.3mS <1.5mS <2.5ms 在开路负载条件下，达到距离*终值 0.1% 以内所需的时间。步进是范围 10% 至90%。
20V <300μS <360μS <1ms
6V <150μS <250μS <1ms
200mV <200μS <250μS <1ms
电流源 3A <200μS <280μS <1.2ms 在短路条件下，达到距离*终值 0.1% 以内（对于 3 A范围，为 0.3 %）所需的时间。步进是范围的 10%至90%。6V 电压量程， 105%满量程钳位设定
1.5A <200μS <280μS <1.2ms
150mA <200μS <280μS <1.2ms
15mA <200μS <280μS <1.2ms
1.5mA <200μS <280μS <1.2ms
150μA <250uS <300uS <1.2ms
15μA <250uS <1.2mS <2ms
1.5uA <600uS <1.2mS <5mS
150nA <600uS <5mS <12mS

1，输出转换速率：Fast,Normal,Slow。
2，Fast 模式在不同的量程或负载条件下输出可能会出现较大过冲，过冲敏感设备建议用 Slow 模式。

采样率及 NPLC 设置

配置方式 配置范围
NPLC 0.00005PLC ~ 10PLC
Sampling Rate 5sps ~ 1Msps


测量精度降额（PLC<1）
误差增加量程的百分比

PLC 量程
200mV 6V 20 至 200V 150nA 至 1.5uA 15uA 150uA 至 150mA 1.5A 至 3A
0.1 0.02% 0.01% 0.01% 0.02% 0.01% 0.01% 0.01
0.01 0.30% 0.03% 0.02% 0.20% 0.04% 0.02% 0.02%
0.001 3.20% 0.40% 0.10% 2.50% 0.40% 0.03% 0.03%


补充特征

传感模式 2 线或 4 线（远程传感）连接
*大传感引线电阻 1 kΩ（额定精度）
2 线内部线压降 <60mV/A
远程传感输出端与传感端*大电压 2V
输出连接器*大输出电压 >满量程 105%（200V 量程>202V）
直流浮地电压 ±250 V DC
SWEEP 扫描 扫描间隔从 20uS 至 16S 可配置，单次扫描*大 64K 点
自动量程 支持，过冲敏感设备建议切换量程前关闭输出再做量程切换动作
延时测量（SOURCE DELAY） 支持，建议用户设置合适的SOURCE DELAY 以获得更准确的测量值
过温保护 当检测到内部温度过高时，输出关闭，待温度回到 65 度以下会恢复操作使用
过压保护（OVP） 当输出超出OVP 设定值时关闭输出，设备重置后可进一步操作，精度：±(1%Setting+500mV)
其他输出异常保护 断电重启，可恢复操作或硬件损坏


通信端口

以太网 100BASE-T / 10BASE-T
USB USB 2.0 HOST（前）
USB 2.0 DEVICE（后）
数字 I/O DB9 Pin5 地
优良*大输入电压：5.25 Pin6 IO1，数字I/O，同步信号输入口
优良*小输入 电压：-0.25V Pin7 IO2, 数字 I/O，同步信号输出口
*小逻辑高电平：2.1V
*高逻辑低电平：0.7V，
*大逻输出电流：2mA
*大吸电流：-50mA


环境指标

环境 在室内设施中使用
工作 0 °C 至 +50°C，30 % 至 70 % 相对湿度无冷凝
储存 -30 °C 至 70 °C，10 % 至 90 % 相对湿度无冷凝
海拔 高度工作：0 m 至 2000 m，储存：0 m 至 4600 m
电源 90 V 至 264 V，47 Hz 至 63 Hz，250 VA * 大 值
预热 1 小 时
尺寸 450 × 212× 105mm(含脚垫、把手及旋扭)
重量 净重 5.2 kg


前面板

显示 5.0 寸 TFT 液晶屏，电容触模，分辨率 800*480
固定功能键 Trigger,Home,Cancel，开机键，通道开关，旋转按钮
非固定功能键 LCD 映射功能键
接口 USB 主机接口，输出接口，机壳地接口


后面板

电源线，USB 线，测试线（两根），快速参考，U 盘（包括 PDF 手册、快速 I/V 测量软件和驱动程序）。

产品型号
S3012H 单通道精密型电源/测量单元，脉冲源

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沪公网安备 31010102004821号
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