13286885940 (王先生)
13262995105（吴先生）
13916985299(姚小姐）
联讯仪器S3030F是结构紧凑、经济高效的单通道高电压、高功率电源/测量单元，能够同时输出和测量电压和电流， 能够提供*大±3500V、±120mA（直流）、10 GΩ、180W功率输出，能广泛地应用在功率半导体特性，GaN、SiC表征，复合材料，高压漏电流等测试和研究领域。S3030F支持传统的SMU SCPI命令，让测试代码的迁移变得轻松快捷， 可支持多机同步，集成到生产测试系统中使用，以提高系统的测试效率并降低成本。
S3030F高压型高精度源表SMU电压源指标：
电压设置精度
量程
设置分辨率
精度(1年)
±(%读数+偏置)
典型噪声(有效值)
0.1 Hz-10Hz
±3500 V
40 mV
0.02%+600 mV
50 mV
±2500 V
30 mV
0.02%+450 mV
±1500 V
20 mV
0.02%+300 mV
25 mV
±600 V
7mV
0.02%+120 mV
10 mV
±200 V
3mV
0.02%+40 mV
3 mV
温度系数
±(0.15×精度指标)/°C (0℃-18℃,28℃-50℃)
设置时间
<5 mS (典型值)
过冲
<±1% (典型值，Normal,步进是范围的10%至90%，满量程点，电阻性负载测试)
噪声10Hz-20MHz
1500V电压源，120 mA电阻负载，<200mV RMS
S3030F高压型高精度源表SMU电流源指标：
电流设置精度
典型噪声(有效值)0.1Hz-10Hz
±120 mA1
3 uA
0.02% + 35μA
120 uA
±20 mA
400 nA
0.02% + 15μA
20 uA
±10 mA
200 nA
0.02% + 3 uA
10 uA
±1 mA
20 nA
0.02% + 300 nA
1 uA
±100μA
2 nA
0.02% + 30 nA
100 nA
±10μA
200 pA
0.03% + 5 nA
10 nA
±1μA
20 pA
0.03% + 1 nA
1 nA
±100 nA
2 pA
0.2% +100 pA+Vo x 100 fA
100 pA
±10 nA
200 fA
0.2% + 10 pA+ Vo x 10 fA
10 pA
±1 nA
20 fA
0.2% + 5 pA+ Vo x 1 fA
1 pA
<10 ms (典型值)
1，120mA量程仅支持1500V及以下电压量程
S3030F高压型高精度源表SMU电压表指标：
电压测量精度
显示分辨率
精度(1年)±(%读数+偏置)
1 mV
1mV
100 uV
S3030F高压型高精度源表SMU电流表指标：
电流测量精度
100 fA
10 fA
1 fA
S3030F高压型高精度源表SMU电阻表指标(4线)
电阻测量精度
默认测量电流
典型精度(1年)
100Ω
100μΩ
100 mA
0.075% + 400 mΩ
1 kΩ
1 mΩ
10 mA
0.07% + 4Ω
10 kΩ
10 mΩ
1 mA
0.07% + 40Ω
100 kΩ
100 mΩ
100μA
0.07% + 400Ω
1 MΩ
1Ω
10μA
0.10% + 4 kΩ
10 MΩ
10Ω
1μA
0.15% + 40 kΩ
100 MΩ
100nA
0.32% + 400 kΩ
1 GΩ
1 KΩ
0.32% + 4 MΩ
10 GΩ
10 KΩ
0.72% + 40 MΩ
±(0.15× 精度指标)/℃(0℃-18℃，28℃-50℃)
手动电流源电阻测量
(四线)
总体误差=测量电压/电流源设定电流=电阻读数x(电压源量程的增益误差百分比+电流表量程的增益误差百分比+电流源量程偏置误差/设定电流)+(电压源量程偏置误差/设定电流值)
示例：电流源设定电流=10mA电压测量量程=200V
总体误差=(0.02%+0.02%+3μA/10mA)+(40mV/10mA)
≈0.07%+4Ω
注：测量电压=默认测量电流*被测电阻值≤10.5V
沪公网安备 31010102004821号
